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上海亚太半导体厂特气供应系统解决方案

气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色，特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业，其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离

子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体，而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响，气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。气体一般可简单的区分为大宗气体 (Bulk Gases) ，如 N2 、 H2 、 O2 、 Ar 等使用量较大的气体，和特殊气体 (Specialty Gases) ，如 SiH4 、 AsH3 、 PH3… 等以钢瓶供应的气体。特气供应系统是半导体厂中危险性最高的一环，只要有任何的疏失都可能造成人员、厂房、设备的严重损失，所以对于系传动带统设计安全性的要求就特别高。

某微机电半导体厂厂务各系统建置分摊比例

体系结构

2、系统功能

由上图中，我们可以大略一窥整个系统是如何运作的，当然每个厂区设计不同，监控系统的设计也会有所差异，但最基本单元的不外下列几项：

中央处理单元

在气体监控系统中，我们可以将 PLC( 可程控器 ) 及 PC 视为中央处理单元，属于系统的心脏，负责数据的收集处理、分析及逻辑运算。

前端处理单元

透过装置于气柜、销轴 VMB 、 Scrubber 、机台、环境之气体侦测器，利用特气与侦测器作用，产生电气讯号的变化，经过线路传输，到达 PLC ，将模拟讯号转换为数字讯号第1个测试点不用，方便处理。

输出单元

为了让厂务同仁能实时处理气体外泄事件，并保障第一线作业人员生命安全，以声音、光线能让所有人员辨识危害程度及立即反应，基本上，会利用警示灯及警报器作为警示用具，再进一步，还会与广播结合，更加明确告知工作人员，实际侦测状况。

3、系统特点

a. 通讯

透过通讯接口收集气瓶柜数据包含气阀开 / 关之状态，钢瓶重量或压力，气体管路压力，系统执行状态等等。这些讯息将透过气柜通讯接口回传至监控站 . 提供以太络连接至 PLC 及监控计算机

其通讯格式为标准 TCP/IP ，并且每一部监控计算机会包含以太络卡及标准连接器，若未来使用者有扩充的需求能更容易衔接

b. 警报

气瓶柜提供两点干接点给监控系统，显示一般警报或紧急停气警报，诸如管路压力过低、火警感知、钢瓶切换都会透过此讯号传回，因此当通讯中断管路压力及操作模这5种曲线表现情势能直观的反应出丝杠试样在遭受拉伸力的作用时所反应出来的状态式无法得知时，硬件接点还能反应基本警报果汁机

c. 远程控制（ Gas rack 不作控制）

当任何紧急状况发生 ( 例如：侦测到气体泄漏、地震、火警手动操作等等 ) 控制专项审批程序将立刻自动或以手动方式关闭气瓶柜

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